طراحی و ساخت سامانه حرارتی سریع و تولید نانو لایه های دی اکسید سیلیکون و رشد نانو ساختار ها
پایان نامه
- وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی
- نویسنده الهه رضایی
- استاد راهنما رضا افضل زاده
- تعداد صفحات: ۱۵ صفحه ی اول
- سال انتشار 1390
چکیده
امروزه تولید نانو لایه های sio2به منظور استفاده برای گیت ترانزیستور های mosfet و دیگر کاربرد های الکترونیکی در صنعت الکترونیک از اهمیت بالایی برخوردار است و با توجه به اینکه کوره های لوله ای علاوه بر ناکارآمد بودن برای تولید عایق هایی منطبق با نیاز صنعت امروزه، بسیار گران قیمت و زمان بر هستند، سیستم هایی تحت عنوان سیستم هایی حرارتی سریع (rapid thermal processing) به این منظور طراحی و ساخته می شوند که علاوه به کاهش زمان فرایند و هزینه مالی و صرف انرژی ، حرارت دهی یکنواخت را به صورت تابش ir فراهم می کنند. در این پایان نامه یک سیستم حراراتی سریع به گونه ای طراحی و ساخته شد که علاوه بر بدیع بودن، امکان توزیع یکنواخت تابش لامپ های هالوژن تنگستن به عنوان منبع گرمایی مورد استفاده در این سامانه فراهم می شود. پس از ساخت دستگاه پروفایل تابش لامپ ها در شرایط مختلف ترسیم شد و همچنین دمای نقاط مختلف ویفر در حالت های توان های مصرفی متفاوت و در فواصل مختلف با منبع گرمایی اندازه گیری شد؛ به علت ایجاد گرادیان دمایی روی سطح ویفر سیلیکون، راه کار های استفاده از حلقه محافظ و نگهدارنده مناسب جهت به حداقل رساندن این اختلاف دما روی سطح ویفر استفاده شد . بعد از به حداقل رساندن گرادیان دمای سطح ویفر، سیستم برای مرحله اصلی و نهایی یعنی انجام فرایند اکسیداسیون حرارتی سریع و رشد و تولید نانو ساختار ها مورد استفاده قرار گرفت. به این ترتیب با گرمایش گونه های مختلف بسترهای رسانا و نیمرسانا، انواع نانو ساختارها رشد داده شد. همچنین در پی فرایند اکسیداسیون درون سامانه حرارتی سریع، روی بستر سیلیکونی نانو لایه ایی از sio2 تولید شد.
منابع مشابه
بررسی نانو لایه های دی اکسید تیتانیوم آلاییده با نیتروژن
در این تحقیق اثر افزایش آلایش نیتروژن در نانو لایه های TiO2 را روی خواص آبدوستی بررسی کردیم. نمونه‌ها به روش افشانه داغ تهیه شد. زمان باز‌پخت نمونه‌ها که نقش مهمی در ساختار نهایی نانو لایه‌ها دارد، 450 درجه سانتیگراد بود. مشاهده شد که خاصیت آبدوستی نمونه‌ها تحت نور فرابنفش، با افزایش درصد نیتروژن، افزایش می‌یابد. آبدوستی چهار نمونه آلاییده ت...
متن کاملساخت و شناسایی نانو لوله های وانادیوم اکسید
این مقاله به علت انتشار نتایج پژوهش توسط نویسنده اول در نشریه زیر حذف شد: (Indian Journal of Science and Technology, Vol.8, Supplementary Issue 9 (2015 http://www.indjst.org/index.php/indjst/article/view/68569
متن کاملجذب کادمیوم از پساب سنتتیک با استفاده از نانو ذره دی اکسید سیلیکون اصلاح شده
چکیده سابقه و هدف: فلزات سنگین همانند کادمیوم اثرات مضر زیادی را در محلول های آبی ایجاد می کند. بنابراین حضور فلزات سنگین در آب های سطحی و زیرزمینی به عنوان مشکل آلاینده معدنی اصلی شده است .روش های مختلفی جهت حذف فلزات سنگین وجود دارد که یکی از بهترین روش ها جذب سطحی است. هدف از این پژوهش حذف یون های کادمیوم دو ظرفیتی از محلول های آبی با استفاده از جاذب نانو دی اکسید سیلیکون اصلاح شده به وسیله ...
متن کاملThe Effects of 8 Weeks of Vitamin C Intake and Regular Aerobic Exercise on Serum Brain-Derived Neurotrophic Factor and Insulin-like Growth Factor-1 Levels in Obese Girls
شور و داوم اه : ،یبرجت همین قیقحت نیا رد 28 نیماتیو ،نیرمت ،لرتنک هورگ راهچ هب یفداصت روط هب و باختنا قاچ رتخد C یبیکرت و دندش میسقت . نیرمت تدش اب يزاوه 50 ات 70 ،رثکادح بلق نابرض دصرد 3 تدم هب و هتفه رد هسلج 8 هتفه دش ماجنا . هورگ ياه نیماتیو C و صرق یبیکرت 500 یلیم نیماتیو یمرگ C ار 3 فرصم هتفه رد راب دندومن . هنومن و لبق اتشان ینوخ ياه 48 هلخادم نیرخآ زا سپ تعاس اه عم...
متن کاملمنابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده{@ msg_add @}
نوع سند: پایان نامه
وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی
کلمات کلیدی
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023